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DEPOSIZIONE DI CALCOGENURI DI METALLI DI TRANSIZIONE

Calcogenuri di metalli di transizioneMateriali bidimensionaliPatterningProcessi di fabbricazione

Introduzione

I dicalcogenuri dei metalli di transizione sono oggetto di ricerche intensive per le proprietà elettroniche derivanti dalla loro struttura cristallina bidimensionale stratificata, simile a quella dei grafeni. Questa invenzione si riferisce ad un metodo per produrre film di dicalcogenuri di metalli di transizione aventi spessore di un singolo strato o di pochi strati di materiale mediante scrittura diretta su un supporto.

Caratteristiche Tecniche

Gli strati ultrasottili di dicalcogenuro di metallo di transizione sono caratterizzati da peculiari proprietà funzionali che possono essere sfruttate in elettronica, spintronica, optoelettronica, fotonica, produzione di energia, raccolta e stoccaggio. La disponibilità di processi di crescita economicamente convenienti, green ed efficienti è di fondamentale importanza e sono stati compiuti sforzi significativi nella ricerca su varie metodologie di produzione. L’invenzione si basa su un semplice processo basato su laser che consente la scrittura diretta di sottili strati. In dettaglio, per esposizione diretta all’irradiazione laser di un precursore depositato per immersione, abbiamo ottenuto MoS2 e WS2 sotto forma di nano piastrine con una dimensione laterale di circa 50 nm e spessore sottile fino al doppio strato. Il processo può essere attivato a partire dalla scala sub-micrometrica fino alle dimensioni di un wafer standard per la microelettronica.

Possibili Applicazioni

  • Microelettronica;
  • Optoelettronica;
  • Energetica;
  • Tecnologie quantistiche.

Vantaggi

  • Sicurezza del processo;
  • Costi ridotti;
  • Semplicità di integrazione;
  • Scalabilità.